Scanning electron microscopes

Tender description

Microscope électronique à balayage avec un canon à électron de type FEG, pour l’observation de matériaux et/ou dispositifs semi-conducteurs ou non conducteurs élaborés dans son environnement, sur des substrats Silicium ou autre matériau de 200 mm de diamètre. Le Laboratoire L2MD du département DPFT du LETI envisage l’achat d’un microscope électronique à balayage avec un canon à électron de type FEG, pour l’observation de matériaux et/ou dispositifs semi-conducteurs ou non conducteurs élaborés dans son environnement, sur des substrats Silicium ou autre matériau de 200 mm de diamètre. Cet équipement sera installé dans les locaux du DPFT en salle blanche (ISO 5) du bâtiment BHT/52B sans perturber les caractéristiques de la zone de travail en termes d’empoussièrement. L’équipement proposé pourra être neuf, ou pourra avoir antérieurement servi à des démonstrations, sous condition qu’il soit récent et entièrement reconditionné avant livraison au LETI.