Miscellaneous general and special-purpose machinery

Tender description

Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahl-Lithographie-Systems sowie ein vierjähriger Wartungsvertrag. Am Max-Planck-Institut für Festkörperforschung werden in den Forschungsgruppen eine Vielfalt unterschiedlicher Materialien auf elektrische, magnetische und optische Eigenschaften untersucht. Dazu müssen solche Materialien zu funktionellen Bauelementen strukturiert werden. Für die zentrale Wissenschaftliche Einrichtung Nanostrukturlabor des Institutes ist zu diesem Zweck im Ersatz für eine vorhandene Elektronenstrahl-Lithographie (EBL)-Anlage Raith eLine (Installation 2006), die komplementär zu einer ebenfalls vorhandenen dedizierten 100 kV-EBL-Anlage betrieben wird, eine EBL-Anlage zu beschaffen, die folgende Eigenschaften aufweist: — Variable Schreibfeldgröße und variable Elektronenbeschleunigungsspannung bis 30 kV, — Sub 10 nm –Auflösung auf Silizium in HSQ-Lack, — Effiziente Bildgebung für Sekundärelektronen- als auch Rückstreuelektronen zum Ausrichten des zu schreibenden Musters auf vorhandene Objekte bzw. Strukturen auf dem Substrat, — Interferometer-Tisch mit 100 mm auf 100 mm Fahrweg zur präzisen Positionierung der Probe unter dem Elektronenstrahl, — Die Möglichkeit, Strukturen (etwa optische Wellenleiter oder Einheitszellen als periodische Strukturen) ohne ‚Stitching‘-Fehler unter Festhalten der Elektronenstrahlposition durch Verfahren des Probentisches kontinuierlich und großflächig. Schreiben zu können. — Detaillierte Kontrolle über die Schreibstrategien für einzelne Elemente im Schreibmuster, um die Lithographie an ihre Grenzen treiben zu können, — Anwendersoftware mit mindestens 6 Netzwerk-Lizenzen zur Erstellung der Schreibmuster am Arbeitsplatz, — Die Form der zu prozessierenden Proben reicht von Bruchstücken mit wenigen Millimeter Kantenlänge bis zu maximal 4-Zoll-Wafern. Die Bestückung der Anlage muss über eine Vakuumschleuse passieren, — Diverse Substratformen kommen zum Einsatz. Die Probenhöhe muss deshalb flexibel sein (bis 10 mm). Die Anlage soll neben versierten Ingenieuren von Studenten selbst bedient werden. Deshalb muss eine entsprechende Nutzerverwaltung vorhanden sein, die flexibel die Nutzerrechte und Eingriffsmöglichkeiten verwalten lässt. Bisher wurde eine solche Anlage von mehr als 40 Nutzern parallel genutzt. Sie muss hardware- als auch bedienungstechnisch in die vorhandene Infrastruktur des Nanostrukturlabors passen und den möglichst nahtlosen Übergang ermöglichen. Durch den Wartungsvertrag wird gewährleistet, dass die Anlage im Falle eines Ausfalls schnellstmöglich wieder repariert wird, um Forschungsprojekte nicht zu gefährden.