Industrial process control equipment

Tender description

Vergabe über Lieferung, Werkabnahme, Installation, Inbetriebnahme, vor-Ort-Abnahme und Training einer vollautomatisierten Großflächen-Magnetronsputteranlage. Wir vergeben, für die Präparation von GMR-basierten Dünnschichtstapeln mit Einzelschichtdicken von jeweils 1 nm bei Verwendung von runden Substraten mit 300 mm Durchmesser, einen Auftrag über die Lieferung einer vollautomatisierten Großflächen-Magnetronsputteranlage inklusive Werkabnahme, Installation, Inbetriebnahme, vor-Ort-Abnahme sowie Training. Die Anlage muss für eine möglichst hohe Einsatzzeit (≥16 Stunden/Tag) konzipiert werden. Aufgrund des avisierten Einsatzgebietes sind die Schichtdickenhomogenität bis zum Substratrand und die Reproduzierbarkeit (Versuch zu Versuch) die entscheidenden Paramenter. Zu der im Angebotspreis anzubietenden Leistung gehören: – Werksabnahme (FAT), im Rahmen der Werkabnahme sind insbesondere folgende Abnahmekriterien vom Auftragnehmer nachzuweisen: –– Demonstration Basisdruck p= 8 x 10-8 mbar in Sputter- und p<9 x 10-8 mbar Load-Lock-Kammer, –– stabiler Magnetron betrieb für nichtmagnetische und ferromagnetische Targets bei pAr = 8 x 10-4 mbar und geringstmöglichen Sputterleistungen, –– Demonstration eines vollautomatischen Prozessablaufes. – Lieferung frei Verwendungsstelle, – Installation und Inbetriebnahme, – Abnahme am Aufstellort (SAT), im Rahmen der Abnahme am Aufstellort sind insbesondere folgende Abnahmekriterien vom Auftragnehmer nachzuweisen: –– Nachweis der Einhaltung von niedrigen Sputterraten von 3 nm/min bis 4 nm/min für nicht magnetische und ferromagnetische Targetmaterialien, –– Nachweis der Einhaltung einer Schichtdickenhomogenität ≤ 1 % über ein Substrat mit 300 mm Durchmesser bei sequentieller Abscheidung eines nicht magnetischen und eines ferromagnetischen Schichtstapels mit jeweils 100 Einzellagen von 1 nm Dicke sowie Nachweis der Einsatzfähigkeit der Anlage von ≥ 16 Std./Tag. – Training für 3 Personen – 3 Tage Vor-Ort-Training (3 x 8Std) von 2-3 Personen mit Schwerpunkt "Einweisung in und Erstellung von Prozesssoftware", – 12 Monate Gewährleistung für alle Komponenten ab Abnahme am Aufstellort (SAT), – vollständige Bedienungsanleitung in Deutsch.