Industrial process control equipment

Tender description

Vergabe über Lieferung, Werkabnahme, Installation, Inbetriebnahme, vor-Ort-Abnahme und Training einer vollautomatisierten Großflächen-Magnetronsputteranlage. Wir vergeben, für die Präparation von GMR-basierten Dünnschichtstapeln mit Einzelschichtdicken von jeweils 1 nm bei Verwendung von runden Substraten mit 300 mm Durchmesser, einen Auftrag über die Lieferung einer vollautomatisierten Großflächen-Magnetronsputteranlage inklusive Werkabnahme, Installation, Inbetriebnahme, vor-Ort-Abnahme sowie Training. Die Anlage muß für eine möglichst hohe Einsatzzeit (≥16 Stunden/ Tag) konzipiert werden. Aufgrund des avisierten Einsatzgebietes sind die Schichtdickenhomogenität bis zum Substratrand und die Reproduzierbarkeit (Versuch zu Versuch) die entscheidenden Paramenter. Zu der im Angebotspreis anzubietenden Leistung gehören: — Werksabnahme (FAT), im Rahmen der Werkabnahme sind insbesondere folgende Abnahmekriterien vom Auftragnehmer nachzuweisen: —— Demonstration Basisdruck p= 8 x 10-8 mbar in Sputter- und p< 9 x 10-8 mbar Load-Lock-Kammer, —— Stabiler Magnetronbetrieb für nichtmagnetische und ferromagnetische Targets bei pAr = 8 x 10-4 mbar und geringstmöglichen Sputterleistungen, —— Demonstration eines vollautomatischen Prozessablaufes. — Lieferung frei Verwendungsstelle, — Installation und Inbetriebnahme, — Abnahme am Aufstellort (SAT), im Rahmen der Abnahme am Aufstellort sind insbesondere folgende Abnahmekriterien vom Auftragnehmer nachzuweisen: —— Nachweis der Einhaltung von niedrigen Sputterraten von 3 nm/min bis 4 nm/min für nichtmagnetische und ferromagnetische Targetmaterialien, —— Nachweis der Einhaltung einer Schichtdickenhomogenität ≤ 1 % über ein Substrat mit 300 mm Durchmesser bei sequentieller Abscheidung eines nichtmagnetischen und eines ferromagnetischen Schichtstapels mit jeweils 100 Einzellagen von 1nm Dicke sowie Nachweis der Einsatzfähigkeit der Anlage von ≥ 16 Std./Tag. — Training für 3 Personen: —— 3 Tage Vor-Ort-Training (3 x 8 Std.) von 2-3 Personen mit Schwerpunkt „Einweisung in und Erstellung von Prozesssoftware“, — 12 Monate Gewährleistung für alle Komponenten ab Abnahme am Aufstellort (SAT), — Vollständige Bedienungsanleitung in Deutsch.